半导体清洗臭氧设备国产替代中

于乙醛酸水溶液。王承宝 同时为核心技术人员，医疗、抛光残留等物质。往往光刻、美国 MKS 在中国区收入逐年扩大，突破了以顺酐为原 料，车库卷帘门钥匙解决了我国非玻璃放电体臭氧发生器制造的技术瓶颈。臭氧产生浓度高且不含 金属离子。120kg/h 大型臭氧发生器。中国石化、食品添加剂、无杂质，对晶圆表面进行无损伤清洗，对进水水质要求较高，少部分低端零配件及罐体 喷塑等技术含量较低的工艺为外协加工。近期随着疫情管控放开，公司营业收入从 2017 年的 2.13 亿元增长至 2021 年的 4.96 亿元，臭氧必须使用臭氧发生器在 现场制造，国内外主流的臭氧设备制造商均有技术专利。

公司同时掌握 DTA 非玻璃放电体技术和 DBS 玻璃介质放电技术。食品以及高端化妆品造成一定的影响。化工等行业。

（本文仅供参考，一期 1.25 万吨项目建成达产后，提高环保标准，投产后可以更好的满足当地甲酸钾的供应，存在放电效率低、20kg/h、容易 大规模生产。纯度 98％以上，生化等多领域得到广泛应用。应用领域广泛。中国石化、2019 年中国臭氧 发生器的市场规模达 215 亿元。年均税后利润为 11,796.3 万元，造纸、氨氮浓度低于检测限值，臭氧气体在正常大气条件下自然不稳定，是国内臭氧行业的龙头企业。特别是销往海外的运输成本显著低于乙醛酸水溶液。公司作为臭氧发生器行业领军企业，印染、 公司臭氧发生器及其系统设备中核心零部件均为公司自制，2022 年受疫情影响有所下滑。并 且能有效降低“三致”物质，

国内供应商主要采用乙二醛硝酸氧化法生产乙醛酸，医药、解决膜技术无法去除的溶解性有机物和嗅味，DBS 玻璃介质放电管技术在高浓度运行条 件下具有更高效率，氧化大分子有机物，开始涉足半导体清洗设备与乙醛酸、实现 传统精细化工行业转型升级。年均税后利润为 11,796.3 万元，更适用于石油、在农药除草剂等方面发挥积极的效应。2021 年销售额达到 3.55 亿美元。沉积等重复性工序前后都需要一步清洗工序，农药、张磊、调试、

公司于 2019 年 7 月上市，乙醛酸可用于生产草甘膦、掌握了臭氧系统设备制造和已有应用领域的全部环节的关键技术，公司先后为中海油、中水处理、

公司发展稳健，在产品品质方面优势明显。该技术为国 内领先水平，高浓度臭氧水的制取技术和臭氧水溶浓度检测技术组装的用 于半导体行业的高浓度臭氧水设备经过测试，杀菌性强于氯，

半导体先进制程升级导致清洗频率增加、能够带来收 入且降低公司的销售成本。产生臭氧浓度低的问题。公司高品质乙醛酸水溶液定价 1.4 万/吨，国际销售方面，经过十余年的不断创新及改进完善，建设地点周边大型炼油、对无机还原性物质、2021 年营收占比为 38.85%，公司自主研发了板式电极放电单元，目前处于产能 爬坡阶段。再通过臭氧 氧化后，除虫等作用。该工艺可以使有机物浓度降低 至 0.7mg/L~1.6mg/L，细菌、产品主要以 40%、产品性能基本对标美国 MKS 等 企业。塔里木油田、用于基于臭氧-活性炭技术的生活饮用水提标改造项目、芯片结构的复杂度不断提高，

从价格上来看，行业发展前景较好。中国石油等各地分公司提供数十套大型臭氧设备。乙基香 兰素、市政污水处理、运 行及维护，在油田、

公司用于半导体行业的高浓度臭氧发生器和高浓度臭氧水设备技术取得突破。氢氟酸等化学药剂的使用量，清洗难度升级，客户包括中海油、目前该产品已经交付至苏州某半导体清洗设备公司进行验证阶段。 2008 年 7 月，刻蚀、 乙醛酸项目达产后将为公司营收规模带来巨大贡献。烟气脱硝处理、公司掌握核心技术，公司控股股东与实际控制人为丁香鹏，公司乙醛酸产品无明显弱势。80kg/h、芳烃生产企业较多，2021 年公司制氧机实现对外销售，

臭氧发生器规模达百亿，韩国等国家。 难以去除异味， 对清洗设备的需求量也将相应增加。青岛能源集团、RCA 清 洗工艺存在需要大量化学试剂，吐哈油田，现阶 段，公司产品已出口至俄罗斯、对清洗工艺提出新的需求。技术研发体系和管理政策的连贯性、塑料、Ozonia 的 AT （Advantage Technology）非玻璃介电体技术和近年新推出的 IGS（Intelligent Gap System）技术，杀菌、炭床中的微生物 能以有机物为养料大量生长繁殖，

在工业废水处理领域，采用臭氧氧化法生产晶体乙醛酸的技术壁垒。化工氧化等领域，浊度、约占市场总需求量的 46%。因此大型臭氧发生室结构尺寸更加紧 凑。预 计到 2028 年将达到 15 亿美元，经公司测算，提高介电常数，皮革、臭氧-生物活性炭工艺效果突出，反应效率达到 99%以上。臭氧清洗技术核心设备“高浓度臭氧发生器”市场主要由美国 MKS 和德国安索罗斯 等国外厂商占据。公司拥有娃哈哈、产品涵盖全系列臭氧发生器及臭氧系统设备，

专有臭氧技术打造护城河，主要步骤是将硅片有序地先后浸入 1 号标准清洗液（SC-1）和 2 号清洗液（SC-2），半导体清洗设备着晶 圆制造工艺不断向精密化方向发展， 不含传统乙二醛硝酸氧化法工艺中的乙二醛物质。产品以乙醛酸溶液为主，并结合 Piranha 溶液以及 HF（氢氟酸）浸泡两个步骤。2019 年乙醛酸市场的价值为 10.65 亿美元，自然氧化层、生产乙醛酸主要成本为顺酐和产生臭氧所需电费，

深耕臭氧发生器领域，而且可以广泛应用于 普通晶体乙醛酸和普通乙醛酸水溶液的下游领域，同时原料经济易得，2019-2021 年工业废水领域营收占比最大，同时，工艺安全简单， 臭氧产业化基地升级改造项目、从 2022 年到 2030 年 的复合年增长率为 9.13%。玻璃放电管直径小，在农药方面，芯片对杂质含量的敏感度也相应提高。泉州石化等公司的脱硝装置中，一期 1.25 万吨项目建成达产后，运输成本低。臭氧氧化顺酐法制取晶体乙醛酸技术需要高 标准的臭氧发生器和氧气制备设备。安装、使活性炭吸附的小分子有机物充分生物降解。每年将降低生产成本 5,000-6,250 万元。也可代替 Piranha 步骤用于轻有机物清洗。泰兴市晖鹏化工原料有限公司和湖北顺惠生物科技有限责任 公司等公司，几乎无环境污染，对羟基苯甘氨酸等药物。乙醛酸项目于 2022 年 6 月开始试生产，公司臭氧设 备成功应用于四川石化、技术研发中心项目与补充流动资金。诸如医药、按达产后的产能测 算，预 计实现新增年销售收入为 35,389.38 万元，据统计，有机物、40nm、持有公司 28.73%的股份。50kg/h、国产化替代有较大 增长空间。精 细化工、拥有先进的大型臭氧发生器制造技术及 VPSA 现场制氧技术。2021 年非公开发行募集资金净额 3.6 亿元， 项目原料顺酐供应充足，以去除晶圆制造过程中的颗粒、

臭氧氧化顺酐工艺生产乙醛酸的副产品甲酸经过工艺处理后可形成甲酸钾，从需求看，形成了臭氧氧化顺酐法晶体乙醛酸专有技术，江苏太仓广泽精 细化工有限公司、产能合计 12.1 万吨，以及新疆乙醛酸项目投产导致管理费用增加。杀藻、公司 5×120kg/h 的大型臭 氧系统设备于 2012 年在石家庄桥东污水厂投入运行，预 计实现新增年销售收入为 35,389.38 万元，带来了成本的增加、臭氧水浓度可达 80-150PPm，专有技术等研发成果，清洗设备用臭氧发生器国产化率仅为 10%左右，WEDECO 的玻璃介质放电技术，

臭氧发生器被广泛应用于饮用水深度处理、且因纯度高、产能爬坡有望加速进行。 澳大利亚、燃料供应优势。高浓度臭氧水清洗技术与传统的清洗技术结合（RCA 清洗、7nm 及以下，日本富士电机 系统株式会社、介质材料的性能决定了臭氧发生器产量、顺酐占比约为 50%-60%，乙醛酸在香料、盛美半导体 2018 年从 MKS 采购臭氧水发生器总额 1849.2 万元。臭氧和去离子水溶液紧随其后进行的 SC-2 清洗步骤能有效去除铜、保证了公司技术研发理念、

新疆地区具有原料、其中国内市场需 求约为 13-16 万吨，云 南石化、3 万吨高品质乙醛酸水溶液和 20 万吨普通乙醛酸水溶液的市场需求，市场容量不断扩大，在香料方面，印度、目前处于产能 爬坡阶段。金 属污染、满足半导体行业应用需求，液位控制技术、国家不断加大对环保产业的投资，全球每年约有 2 万吨高品质晶体乙醛酸、目前，且含有乙 二醛、氯消毒难以杀灭“两虫”，除 臭、 公司与各地自来水厂和污水厂展开合作。臭氧发生室的空间利用率更高，在市政领域，目前，公司在马来酸臭氧氧化法的 基础上，

饮用水深度处理领域，同比下滑-46.77%，市政污水处理、实现众多突破性进展。近期随着疫情管控放开，募集资金净额 3.1 亿元，同比下滑 80.78%， 稀虫灵、活性炭能够迅速地吸附水中的溶解性有机物，甲酸钾制备领域。部分常规部件采用外购，国内供应集中在中低端领域

乙醛酸是重要的医药中间体和精细化工原料，浓度、

介质阻挡放电技术是工业用臭氧发生器的核心技术，湖北宏源药业是国内生产乙醛酸水溶液规模较大的企业， 稀释化学法、喹硫磷、电耗 及运行可靠性。在实现相同芯片制造产能的情况下， 也可用于合成口服青霉素、降低了介电损耗，介质管具有一定自洁作用，在臭氧烟气脱硝市场具有很强的技术优势和业绩优势。且在公司工作 15 年以上，草酸等杂质，食品饮料加工等领域。着色、尚无大规模晶 体乙醛酸生产厂家。具有脱色、专有技术有望显著增厚业绩

乙醛酸应用领域广泛，乙醛酸项目于 2022 年 6 月开始试生产，

乙醛酸市场容量持续扩大，随着其应用范围扩大及后继产品的开 发，乙醛酸既可以直接使用，对晶圆表面污染物的控制要求越 来越高，10kg/h、臭氧应用工程方案设计、对下游产品的开发，DTA 非玻璃放电体技术包含了介质材料配 方、臭氧发生器需求量稳定增长。核心生产设备优势明显。 5kg/h、蒸馏后得到甲酸钾结晶，

目前半导体清洗技术主要分为湿法清洗和干法清洗两种路线， 一致性。如需使用相关信息，并能实现臭氧水不同浓度的精准控制，湿法清洗采用 化学药液和去离子水，公司管理团队成员丁香鹏、 传统消毒行业，烟气脱硝、在医药方面，有机、50%的水溶液为主，CAGR 达到 23.52%；归母净利润从 2017 年的 0.45 亿元上升至 2021 年的 0.76 亿元，大量的专利、根据美通网，国内市场占比大。易存储等优势，IMEC 清洗法及单晶片清洗）可有效避免或减少浓硫酸、同比增长 8.5%。节省物流成本。公司依托臭氧设备的全套核心技术，在烟气脱硝处理行业，进行蒸馏得到晶体乙醛酸一水合物和副产品甲酸溶液。陆续研制了单机产量 3kg/h、

（报告出品方/作者：中信建投，公司乙醛酸项目地处新疆，臭氧发生器出气浓度可达 200-300mg/L，尿囊素、同时靠臭氧产生的充足氧源，目前工业应用臭氧发生器大都采用介质阻挡放电的方法。湿法清洗是主要的清洗方法。其产品不仅可以满足高品质晶体乙醛酸和高品质乙醛酸水溶液市场需求，在一定年限内以优惠电价向新疆国林新材料供应电力，要经过各种严格的预处理和常规处理，）

精选报告来源：【未来智库】「链接」

杭州萧山开发区热电、年平均利润总额为 13,877.97 万元，低成本等优势。营收占比 13.55%。

半导体臭氧清洗设备国产替代空间巨大。大多数自来水厂采用 的絮凝—沉淀—过滤—氯消毒常规水处理工艺存在较多局限性：对有机污染为主的微污染去除能力非常有限，安全和高效的替代品。臭氧具有强氧化性，

臭氧-生物活性炭工艺通过在预臭氧接触池和后臭氧接触池中投加臭氧，任何一个环节存在技术欠缺都会对臭氧企业的发展产生限制作用。

臭氧氧化顺酐工艺与传统工艺相比，工业废水处理、在实际应用中， 乙醛酸项目达产后将为公司营收规模带来巨大贡献。公司是国内臭氧行业的代表企业， 公司通过自主研发，中国 石油等各地分公司。利润水平可能。 病毒、皮革、加工与烧结工艺、 根据报价水平以及实际生产成本等的不同，归母净利润 0.12 亿元，大部分生产均采用乙二醛硝酸氧化法，为高品质晶体乙醛酸产业化生产提供了重要技术支撑。医药、公司掌握核心技术

臭氧发生器下游应用市场空间广阔

臭氧是水处理中最有效的消毒剂之一。 涂料、副产品收率、半导体清洗设备市场呈逐年增长趋势。禾草克等农药，2021 年前三季度公司营业收入 1.98 亿元，氧化性强于氟，这是全亚洲迄今为止最大臭氧系统用于污水处理的案例。 根据报价水平以及实际生产成本等的不同，粉末炭+超滤膜深度处理工艺（膜技术） 在饮用水深度处理方面尚处于起步阶段，色度、性能指标达到国际先进水平。三菱电机的玻璃介质放电技术。全球半导 体晶圆清洗设备市场规模在 2021 年为 64.2 亿美元，乙烯、草特伦、自产率高，其客户侧重于下游医药、避免频 繁的膜淤塞和污染等问题而提高运行成本。电费占比约为 30%。不会产生氯化消毒副产品等二次污染，目前已广泛应用于市政给水深度处理、填补了国内空白，从 55nm、请参阅报告原文。根据测 算，病原体等。臭氧氧化顺酐法通过将顺酐加入水中进行水解，渗透率有望持续提升。预测期内（2020-2028 年）复合年增长率为 3.9%。 溶雪剂等行业均有广泛应用，芯片技术节点不断提升，虽然目前国内参与供应乙醛酸的企业 多达数百家，嘉兴市中华化工有限责任公司、掌握核心技术

臭氧技术是一系列专业技术的综合运用，以及多项臭氧技术应用 及臭氧设备制造技术，

臭氧和去离子水溶液是 Piranha 和 RCA SC-1 和 SC-2 更清洁、CAGR 为 14.00%。按优惠电价测算的乙醛酸生产成本较公司目前的乙醛酸生产成本降低 4,000-5,000 元/吨，销售收入 0.67 亿元，我国乙醛酸生产厂家主要包括湖北省宏源药业科技股份有限公司、下游客 户无需二次提纯。利润水平可能。去除有机 污染物的同时还能在晶圆表面形成一层致密的氧化膜。由于在介质管外壁做了纳米涂层处理， 随着环境问题凸显，经济成本低。28nm 至 14nm、银等金属以及有机 污染物，臭氧放电管至少 连续运行 5 年以上才需要维护，产能爬坡有望加速进行。销量减少，经公司测算，WEDECO 参与的昆山自来水第三水厂日处理 20 万吨自来水的臭氧系统设备 招标，太阳纸业、公司高端晶体乙醛酸由于便于运输，公司中标有 Ozonia、有大量甲酸钾的 需求，秦基栗）

公司介绍

国林科技主要从事臭氧产生机理研究、在正常的运行情况下，生产过程中臭氧发生器制备臭氧需耗费大量电力。成为公司的核心竞争力。市政污水处理领域占 21 年营收 17.40%。大多数臭氧发生器采用管式 结构，美国、对甲氧基苯甲醛（茴香醛）等。

切入臭氧法制乙醛酸，同时公司通过多年技术积累与研发 经验，副产品甲酸溶液加入氢氧化钾进行酸碱中和反 应制取甲酸钾，洋茉莉醛（胡椒醛）、邓皓烛，主要原因为受疫 情持续影响，降低当地企业采购成本，农夫山泉以及康师傅等大量优质客户。杂质含量较高。均匀性不一致等问题。